正排量真空泵使用一種機制來(lái)重復地擴展腔體，允許氣體從腔室流入，密封腔體并將其排放到大氣中；動(dòng)量傳遞真空泵，也稱(chēng)為分子真空泵，使用高速?lài)娚涞某砻芰黧w或高速旋轉葉片將氣體分子從腔室中撞出；誘捕真空泵捕獲固體或吸附狀態(tài)的氣體，這包括低溫真空泵，吸氣劑和離子真空泵。
  
  正排量真空泵對于低真空是^有效的。動(dòng)量傳輸真空泵與一個(gè)或兩個(gè)正排量真空泵配合使用是實(shí)現高真空的^常見(jiàn)配置。在這種配置中，正排量真空泵有兩個(gè)目的。
  
  首先，在動(dòng)量傳遞真空泵可用于獲得高真空之前，它在被抽空的容器中獲得粗真空，因為動(dòng)量傳遞真空泵不能在大氣壓下開(kāi)始真空泵送。
  
  其次，正排量真空泵通過(guò)將高位真空泵中的置換分子的積聚抽空到低真空來(lái)支撐動(dòng)量傳遞真空泵?？梢蕴砑诱T捕真空泵以達到超高真空，但是它們需要定期再生捕獲空氣分子或離子的表面。由于這種要求，它們在低真空和高真空中的可用操作時(shí)間可能短得令人無(wú)法接受，因此限制了它們在超高真空中的使用。
  
  真空泵的細節也不同，如制造公差，密封材料，壓力，流量，進(jìn)氣或不允許油蒸汽，維修間隔，可靠性，灰塵耐受性，耐化學(xué)品性，耐液體性和振動(dòng)性。