混合真空干燥采用專(zhuān)利，環(huán)保，超潔凈技術(shù)準確干燥硅晶片，III-V復合晶圓，玻璃基板，磁盤(pán)驅動(dòng)器，光學(xué)鏡頭和許多其他產(chǎn)品。
  
  準確干燥對于維持清潔過(guò)程至關(guān)重要，混合真空干燥機是兩種成熟技術(shù)的混合體：真空干燥和異丙醇（IPA）干燥，干燥機在有效的閉環(huán)過(guò)程中利用了兩者的特性。遠程產(chǎn)生超潔凈蒸汽，然后將其引入密封的干燥室，閉環(huán)系統允許新鮮的IPA蒸汽沖洗待干燥的表面，滲透表面區域并吸收水分。低壓真空從密封室中吸取任何殘留的水分并遠離被干燥的產(chǎn)品。
  
  在干燥循環(huán)結束時(shí)，用氬氣或氮氣回填腔室，以便從幾乎惰性的氣氛中除去清潔的干燥產(chǎn)品。