真空裝置的工藝專(zhuān)用泵不僅包括真空泵，它們還包括冷凝器以及用于操作液體的循環(huán)系統以及測量和控制技術(shù)，電控系統允許手動(dòng)或自動(dòng)操作，具體取決于應用或客戶(hù)要求。
  
  帶有密封背襯泵的真空泵裝置：在世界上^常用和^普遍的設計中，前級泵使用特殊的真空泵油作為密封劑。通過(guò)將泵裝置與羅茨泵相結合，它們可用于大多數不同的應用。
  
  帶有干燥運行支撐泵的真空泵機組：在許多生產(chǎn)設施中，干式運行真空泵 - 主要是螺桿泵 - 近年來(lái)已經(jīng)建立起來(lái)。由于相對較高的工作溫度，預計不會(huì )發(fā)生冷凝，因此泵送單元部分地在沒(méi)有冷凝器的情況下運行。但是，對于在危險區域中的使用，需要采取特殊預防措施。
  
  帶有液環(huán)泵的真空泵裝置：經(jīng)常使用液環(huán)泵，特別是在化學(xué)工業(yè)中。除水之外，其他密封劑可用作操作介質(zhì)，例如，煤油在氣相過(guò)程中。與羅茨泵相結合，因此產(chǎn)生了具有高抽速和良好極限真空的抽油機。